FBM-160 氟離子濃度分析儀在半導(dǎo)體廠總排口的應(yīng)用

2024-06-19，星期三

背景介紹

上海市某半導(dǎo)體廠，專(zhuān)注于研發(fā)和制造專(zhuān)業(yè)應(yīng)用的晶圓。晶圓生產(chǎn)工藝復(fù)雜，其中蝕刻工序使用氫氟酸溶液進(jìn)行蝕刻、并用高純水清洗，在這個(gè)工序中產(chǎn)生了大量的高濃度含氟廢水，含氟廢水經(jīng)過(guò)加藥、混凝沉淀處理后達(dá)標(biāo)排放。

該半導(dǎo)體廠在總排口處安裝了一臺(tái)FBM-160 氟離子濃度分析儀。根據(jù)國(guó)標(biāo)《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB8978-1996）以及上海市環(huán)境保護(hù)局發(fā)布的地方標(biāo)準(zhǔn)《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（DB31），該半導(dǎo)體廠執(zhí)行三級(jí)標(biāo)準(zhǔn)，其總排口的氟限值為 20mg/L。

氟離子濃度分析儀的現(xiàn)場(chǎng)圖如下圖所示，控制器采用管式安裝，電極采用浸入式安裝。

應(yīng)用情況

FBM-160 氟離子濃度分析儀采用氟離子選擇電極法，監(jiān)測(cè)方法符合國(guó)標(biāo) GB7484-1987。氟離子濃度分析儀結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，氟離子電極現(xiàn)場(chǎng)采用浸入式安裝，在無(wú)選配自動(dòng)清洗組件的前提下，每月人工清洗一次電極，三個(gè)月校準(zhǔn)一次電極。在正常維護(hù)條件下，每年更換一次氟離子電極。現(xiàn)場(chǎng)安裝方便，維護(hù)較簡(jiǎn)單，測(cè)量值均低于 20 mg/L，和實(shí)驗(yàn)室比對(duì)數(shù)據(jù)良好，符合用戶(hù)的測(cè)量要求。

總結(jié)

FBM-160 氟離子濃度分析儀采用國(guó)標(biāo)方法監(jiān)測(cè)——氟離子選擇電極法，不消耗試劑，可更換電極頭，減少維護(hù)費(fèi)用；安裝簡(jiǎn)單，可在現(xiàn)場(chǎng)采用浸入池中安裝，也可以在排口采用流通式安裝?？蛇x配自清洗組件，減少用戶(hù)的人工清洗工作；具備多個(gè)量程,0~99.9 mg/L；0~999 mg/L或0~9990 mg/L，滿(mǎn)足含氟廢水進(jìn)排口的不同測(cè)量范圍需求。

FBM-160 氟離子濃度分析儀廣泛應(yīng)用于電子行業(yè)的含氟廢水監(jiān)測(cè)，在正常維護(hù)下，能夠滿(mǎn)足用戶(hù)廢水總排口的測(cè)量需求。